5、吸着响应时间与吸附腔的容积有关（包括扩散腔，吸附管道及吸盘或密闭舱容积等），吸附表面的泄漏量与所需吸入口处压力的大小有关。对一定吸入口处压力要求来说，若吸附腔的容积越小，响应时间越短；若吸入口处压力越高，吸附容积越小，表面泄漏量越小，则吸着响应时间亦越短；若吸附容积大，且吸着速度要快，则真空发生器的喷嘴直径应越大。

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