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  • BZ 系列 晶圆边缘支撑伯努利手指
BZ 系列 晶圆边缘支撑伯努利手指

MRK‑BNL‑BZ系列

【应用领域】：半导体晶圆传输、晶圆分选、薄片晶圆搬运设备等

【材质亮点】：本体铝合金精密加工，边缘PEEK接触，晶圆正面零接触，可搭配机械夹持机构

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迈瑞凯‑伯努利手指研发制造厂商

MRK‑BNL‑BZ系列

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材质亮点
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BZ晶圆边缘支撑伯努利手指

  本体铝合金精密加工，轻量化刚性好

  边缘接触部位PEEK材质，洁净耐磨，抗划伤污染

  边缘限位防护，晶圆正面完全零接触

  可搭配机械夹持机构，提升高速搬运稳定性

性能优势
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BZ晶圆边缘支撑伯努利手指

  压缩空气驱动，伯努利气流负压悬浮，无需真空发生器

  仅晶圆边缘微接触，晶圆正面完全无接触，杜绝表面损伤

  可适配翘曲晶圆，伯努利+机械夹持组合运行更可靠

  高洁净等级，适配半导体洁净车间，4‑12英寸可定制

应用领域
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半导体晶圆传输、晶圆分选、薄片晶圆搬运设备
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