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CZ 系列 晶圆侧边支撑伯努利手指

MRK-BIS-CC-Y8-PK-V01

【应用领域】：半导体晶圆传输、晶圆检测、薄片晶圆搬运设备等

【材质亮点】：主体高强度铝合金，PEEK洁净耐磨，侧边限位，可搭载传感器实时检测工作状态

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迈瑞凯‑伯努利手指研发制造厂商

MRK‑BNL‑CZ系列

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材质亮点
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CZ晶圆侧边支撑伯努利手指

  主体高强度铝合金，加工精度高，轻量化结构

  接触部位采用PEEK材质，洁净耐磨，产尘少

  侧边限位结构，防止晶圆高速搬运偏移滑动

  可搭载传感器，实时检测工作状态

性能优势
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CZ晶圆侧边支撑伯努利手指

  仅需压缩空气，无需真空发生器，依靠伯努利气流产生负压

  晶圆正面全程非接触吸取，避免表面划伤污染

  适配翘曲小于5mm晶圆，可搭配夹持机构，搬运更稳定

  洁净车间适配，低颗粒产生，支持4‑12英寸晶圆非标定制

应用领域
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半导体晶圆搬运、晶圆检测、晶圆传输设备
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