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MZ 系列 晶圆面支撑伯努利手指

MRK‑BNL‑MZ系列

【应用领域】：减薄晶圆、翘曲晶圆、半导体薄片搬运传输设备

【材质亮点】：主体铝合金加工，特氟龙/范德华高分子软垫，柔性缓冲，降低背面压痕磕碰

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迈瑞凯‑伯努利手指研发制造厂商

MRK‑BNL‑MZ系列

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材质亮点
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MZ晶圆面支撑伯努利手指

  主体铝合金加工，刚性强，轻量化适配机械手

  采用特氟龙/范德华高分子软垫，柔性缓冲

  软垫摩擦力大，高速启停换向晶圆不易偏移掉片

  柔性缓冲，降低晶圆背面压痕、磕碰损伤风险

性能优势
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MZ晶圆面支撑伯努利手指

  伯努利气流负压吸附，软垫背面微接触支撑

  抗翘曲能力优异，适配减薄晶圆、翘曲晶圆

  机器人高速启停换向，晶圆不易移位、掉片

  洁净防静电，适配半导体产线，支持4‑12英寸定制

应用领域
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减薄晶圆、翘曲晶圆、半导体薄片搬运传输设备
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