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翘曲晶圆吸盘

【应用领域】：减薄晶圆、高翘曲晶圆、研磨后薄片硅片、半导体后道制程搬运

【材质亮点】：高强度铝合金本体，分布式独立气嘴，PEEK限位，柔性缓冲支点，防静电低产尘


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迈瑞凯‑半导体翘曲晶圆吸盘研发制造厂商

MRK-WP系列 翘曲晶圆吸盘

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材质亮点
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翘曲晶圆吸盘

  吸盘基体铝合金精密加工，阳极硬化处理，洁净耐磨

  独立可控多点吸附单元，吸垫采用防静电多孔陶瓷/PEEK材质

  分区独立气路设计，翘曲部位单独保压，不易漏气失吸

  低颗粒材质，适配Class100洁净车间，防静电ESD设计

性能优势
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翘曲晶圆吸盘

  多点独立真空分区，自动适配晶圆翘曲形变，吸力稳定不跑真空

  柔和均匀吸附力，可平缓拉平翘曲晶圆，降低裂片、隐裂风险

  支持大翘曲减薄晶圆、键合晶圆、WLCSP扇出封装晶圆吸附固定

  可集成负压检测，支持4‑12英寸非标定制，兼容检测、激光、光刻工位

应用领域
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减薄翘曲晶圆、WLCSP扇出封装、激光划片、晶圆检测、量测机台
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