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微孔陶瓷真空吸盘【铝合金基座款】

【应用领域】：半导体晶圆减薄、研磨、划片、光学薄膜加工

【材质亮点】：高纯度多孔陶瓷高温烧结，铝合金基座，微米级平面度，防静电不掉粉


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微孔陶瓷真空吸盘【铝合金基座款】

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材质亮点
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微孔陶瓷真空吸盘

  高纯度多孔陶瓷高温烧结，微孔分布均匀连通

  硬质阳极氧化铝基座，轻量化、加工性好

  微米级研磨抛光，平面度高，化学稳定性好

  防静电、耐磨不掉粉，适配半导体高洁净环境

性能优势
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微孔陶瓷真空吸盘

  微孔均匀面吸附，受力均衡，防止薄片翘曲、崩边划伤

  耐高温耐腐蚀，无粉尘脱落，洁净度优异

  分区吸附设计，兼容6‑12英寸晶圆

  可替代进口吸盘，支持非标尺寸、基座定制

应用领域
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半导体晶圆减薄、研磨、划片、光学薄膜加工
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